低電平靈敏專用儀器是用於測量極低電平（píng）信號的精密設備，其主要技術參數包括電流分辨率、電（diàn）壓（yā）分辨率、輸入阻抗、噪聲水平（píng）、測量速率、量程範圍等。這些參（cān）數（shù）共同決定了儀器的靈敏度和（hé）適（shì）用（yòng）性，使其能夠準確捕捉和分析微弱的電流、電壓和電阻信號。
電流（liú）分辨率：指儀器能夠區分的最小電流變化量，如Keithley 6485型皮安表提供10fA的電流分辨率。
電壓分辨率：指儀器能夠區分的最小電壓變化量，例如（rú），2182A納伏表擁有1nV的靈敏度。
輸入阻抗：高輸入阻抗是低電平測量的重要特性，它（tā）減少了測量時對被測電（diàn）路的影響，如Keithley 6517B靜電計/高阻表的輸入阻抗大於200TΩ。
噪聲水平：低噪聲水平對於提高測（cè）量精（jīng）度至關重要，例如，Keithley 6517B靜電計的噪聲僅為0.75fA p-p。
測量（liàng）速率：指（zhǐ）儀器完成一次測量所需的（de）時間，高速測量速率有助於提高生產效率，如Keithley 6485型皮安（ān）表支持（chí）最高每秒1000個讀數。
量程範圍：指儀（yí）器能夠測量的電流、電壓或電（diàn）阻的最大值和最小值，如Keithley 6485型皮安表可測量10fA至20mA的電流。
這些技術（shù）參數共同決定了低電平靈敏專用儀器的性能和應用範圍，使其能夠（gòu）在納米技術、半導體測試、航（háng）空航天等多個領（lǐng）域發揮關鍵作用（yòng）。
