校準記憶示波器（qì）需（xū）要一（yī）係列高精度（dù）的校準（zhǔn）設（shè）備，以（yǐ）確保其測量結果的準確性和可靠性。以下是校準記憶示波器時常用的關鍵設備：
一、信號發生器
- 函數信號發生器
- 用途：生成標準正弦波、方波、三角波等信號，用（yòng）於校準（zhǔn）示波器的（de）垂（chuí）直靈敏度、帶寬和頻率響應。
- 要求：頻率範圍覆蓋示波器的標稱帶寬（如100 MHz、500 MHz等），幅度（dù）穩定性優於（yú）±0.5%。
- 脈衝信號發生器（qì）
- 用途：產生高速脈衝信號（hào），測試示波器的上升時間、下降時間和（hé）脈衝寬度測量精度。
- 要求：上升時間≤示波器標稱上升（shēng）時（shí）間的（de）1/3（如示波（bō）器上升時間為1 ns，則脈衝發生器需≤333 ps）。
二、頻（pín）率標準
- 頻率計數器
- 用途：測量信號發生（shēng）器（qì）的（de）輸出（chū）頻率，確保其頻率精度優於示波器（qì）標稱精度的1/10。
- 要求（qiú）：分辨率≥10位，采樣率≥1 GHz。
- 原子鍾或銣鍾
- 用途（tú）：提供（gòng）高穩定性的參考頻率，用於校準示波器的時基精度。
- 要求（qiú）：頻率穩定度優於1×10⁻¹¹/天。
三、幅度（dù）標準（zhǔn）
- 精（jīng）密衰減器
- 用途（tú）：衰減信號發生（shēng）器的輸出幅度，模擬不同幅值的輸入信號。
- 要（yào）求：衰減範圍≥60 dB，衰減（jiǎn）精度優於±0.1 dB。
- 功（gōng）率分配器
- 用途：將（jiāng）信號（hào）均（jun1）分到（dào）多個通道，用於多通道示波器的同步（bù）校準（zhǔn）。
- 要求：幅度不平衡度≤±0.1 dB，相（xiàng）位不平（píng）衡度≤±1°。
四、時間（jiān）標準
- 時間間隔分析儀
- 用途：測量脈衝（chōng）信（xìn）號的上升時（shí）間、下（xià）降時間、脈衝寬度（dù）和周期。
- 要求（qiú）：時間分辨率≤1 ps，測量不確定（dìng）度≤±50 ps。
- 延遲線
- 用途：引（yǐn）入（rù）可控的時間（jiān）延遲，校準示波器的時基線性度和延遲測量（liàng）精度。
- 要求：延（yán）遲範圍≥1 ns，延遲精度優於±10 ps。
五、數字萬用表
- 高精（jīng）度數字萬用表
- 用途：測量信號發（fā）生器的輸出幅度（dù）、直流偏置和功率。
- 要求：分辨（biàn）率≥6½位，電壓測量不確定度≤±0.01%。
六、專用校（xiào）準件
- 示波器（qì）校準儀
- 用途：集成多種校準功能，如快沿信號、垂直靈（líng）敏度、水平時基等。
- 示例：Fluke 5520A、Tektronix CAL90。
- 探頭校準器
- 用途：校準示波器探頭的補償（cháng）電容和衰減比。
- 示例：Tektronix P6245、Fluke PM6306。
七、環境控製設備
- 溫濕度控（kòng）製箱
- 用途：維持校準環境的溫度（23±5）℃和濕（shī）度（≤80%RH）。
- 要求：溫（wēn）度穩定性≤±1℃/h，濕度均勻性≤±5%RH。
- 電磁屏蔽室
- 用途：隔離外部電磁幹擾，確保校準信（xìn）號的純淨度。
- 要求：屏蔽效能≥80 dB（10 kHz~1 GHz）。
八、軟件與接口
- 自動化校準軟件
- 用途（tú）：控製校準設備、采集數據並生成校準報告（gào）。
- 示例：Keysight BenchVue、Tektronix CalMAN。
- GPIB/USB/LAN接口
- 用途：實現校準設備與（yǔ）計算機（jī）的通信。
- 要求：傳輸速率≥1 Mbps，誤碼率≤1×10⁻¹²。
九、其他輔（fǔ）助設備
- 同軸（zhóu）電纜與適配器
- 用途：連接校準設備與示波器，減少信號損耗。
- 要求：特性阻抗50 Ω，駐波比≤1.2。
- 電源淨化器
- 用途：提供穩定的交流電源，避免（miǎn）電壓波（bō）動影響校準結果。
- 要求：電壓穩定度≤±1%，諧波失真≤3%。
校（xiào）準流程示例
- 時基校準
- 使用頻率計數器測量信號發生器的輸出頻率，調整示波器時基至顯示值與實際（jì）值一致。
- 垂直靈敏度校準
- 輸入已知幅度的信號，通過數字萬用表測量實際值，調整示（shì）波器垂直增益至顯示值準確。
- 探頭（tóu）校準
- 使用探頭校準器調整探頭的補償（cháng）電容，確保波形無過衝或（huò）下衝。
- 帶寬校（xiào）準
- 輸（shū）入快（kuài）沿信（xìn）號（hào）（如1 ns上（shàng）升（shēng）時間），觀察示波器顯（xiǎn）示的波形是否失真，驗證帶寬性能。
總結
校準記憶示波器需要（yào）一套完（wán）整的校準（zhǔn）係統，涵蓋信號源、標準器、測量儀器（qì）和環境控製設（shè）備。選擇校準設備時，需（xū）確保其精度和穩定性優於示波（bō）器的標稱指標，並遵循相（xiàng）關校準規範（如ISO 17025、IEEE 488.2）。通過定期校準，可保證示波器的測量準確性，滿足工（gōng）程和科研需求。
